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saeron
변화와 창의를 생활화하는 기업
미래로 도약하는 기업
about
saeron
반도체 및 LED용 Quartz / Glass / 세라믹류의 가공 및 제조
Quartz Ware 수리
각종 부품 Modify
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고객지원
Customer Support
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Supply
고품질 제품을
최적의 조건으로
수요자에게 공급
Technology
지속적인
공정 개선과
기술향상
system
생산 system
지속적인 개선
및 연구개발
석영튜브
ALD / LPCVD / Diffusion process
ALD / LPCVD / Diffusion process 등 반도체 박막 증착 과정 중
미세화 공정에 반드시 필요한 석영 튜브를 사용하여 웨이퍼보호 및
고품질의 박막을 제조하는데 중요한 역할을 합니다.
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석영보트
ALD / LPCVD / Diffusion process
ALD / LPCVD / Diffusion 공정 중 석영보트에 웨이퍼를 적재하고,
웨이퍼 표면에 박막 증착을 안정화시키기 위하여 초미세화, 고직접화를 돕는
반도체 제조공정에 중요한 역할로 사용하고 있습니다.
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pedestal
ALD / LPCVD / Diffusion process
석영보트의 받침대 역할로써 공정에서 열 및 광을 차단하여
일정온도를 유지해 주어, 웨이퍼 표면에 박막 증착을
균일하게 할 수 있게 돕는 중요한 역할로 사용하고 있습니다.
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석영에칭
etcher part
반도체의 직접도를 높이기 위한 미세선폭을 만드는 필수 공정인 식각공정에서
파티클 발생 최소화로 안정된 공정을 유지시켜줌으로써
석영 에칭파트류가 반도체 생산성 향상에 기여를 합니다.
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solar & led
대구경 tube 및 mocvd용 part
세계 최대의 대구경 tube 생산 기술과
grower용 feeding tube, cone 및 mocvd용
parts를 양산 중에 있습니다.
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