쿼츠 (석영)

• QUARTZ(석영유리, SiO2)는 순수한 규산(SiO2)로 이루어진 유리로,
  불순물이 수백 ppm 이하인 고순도의 규산을 약 2,000℃ 이상에서 용용하여 제조한 유리입니다.
  QUARTZ에 포함된 금속 불순물의 양은 극히 적으며,
  많아도 10ppm(10만 분의 1), 적은 것이 10 ppm(1억 분의 1)이하로 순도가 매우 높다는 특징이 있습니다.

재료의 특징

• · 빛을 잘 통과 시켜 눈에 보이는 가시광선 뿐만 아니라 자외선에서 적외선까지 넓은 파장 범위에서 양호한 투과 특성을 가지고 있습니다.
• · 순도가 높은 SiO2만으로 되어 있고 금속 불순물이 극히 미량만 포함 되어 있습니다.
• · 열에 강한 연화점이 약 1700℃로 매우 높아 1000℃ 정도의 고온까지 사용 할 수 있습니다.
• · 약품에 침범되기 어렵고 매우 안정적이며 뛰어난 내약품성을 가지고 있습니다.

주요 적용분야

• · 반도체 웨이퍼 제조 공정의 공정진행 전송을 위한 도구나 소모품을 사용
• · 장비 프로세스 유형에 따른 소량의 다품종 주문 제작
• · 조명, 광학, 광섬유 등의 재료로 널리 사용
• · 특수한 측정 기기 및 통신 기기에 필수 절연체

제품소개

석영튜브
ALD / LPCVD / Diffusion process

pedestal
ALD / LPCVD / Diffusion process

bell jar
ALD / LPCVD / Diffusion process

flange
ALD / LPCVD / Diffusion process

ring type
ALD / LPCVD / Diffusion process

tank
ALD / LPCVD / Diffusion process

chanber
ALD / LPCVD / Diffusion process

accessory
ALD / LPCVD / Diffusion process

반도체 장비용 Etcher Parts Q'tz Ware 생산 Item

• Dry Etcher용 Quartz Ware 생산 (건식)

Equipments	ITEM	Types	Process
Dry Etcher Machine (Wafer Size) 6", 8", 12"	Quartz Dome	1) Dual Seal Dome	1) Oxide Strip. 2) Metal Strip. 3) LPCVD Film Strip. (HTO, Poly, SIN)
		2) Balaanced Antenna
		3) Normal Dome
	Quartz Bell Jar	ACT Bell Jar
	Quartz Ring	1) Shield Ring
		2) Cover Ring
		3) Focus Ring
		4) Shadow Ring
		5) Pedestal Ring
		6) Wide Pocket
		7) Ring External
	Quartz Flange	1) Tube Flange
	Quartz Plate & Disc	1) Wall Line
		2) Base Plate
		3) Top Disc
	Quartz Chamber	1) Insert Chamber
		2) Burning Chamber
		3) 승온관 및 열교환기
	Quartz Window	1) Recessed Window
		2) Window Quartz OP
		3) Normal Window

• Wet Etcher용 Quartz Ware 생산 (습식)

Equipments	ITEM	Types	Process
1) Wet Clean Station 2) Wet Clean Equipment (Wafer Size) 6", 8", 12"	Quartz Bathe	1) Single Bath 2) Double Bath 3) Hot QDR Bath 4) D.I Heating Bath 5) Over Flow Bath 6) Final Rinse Bath 7) H3PO4 Bath 8) Solvent Bath	1) Pre-Diffusion 2) Pre-CVD 3) Wet Strip
	Quartz Wafer Guide	1) Wafer Guide 2) Wafer Chuck 3) Robot Chuck
	Quartz Heater	1) In-Line Heater 2) Lamp Heater
	Quartz Insulator	1) Insulator Ring 2) Insulator Pipe
	Quartz Funnel	Funnel Quartz
	Others	1) Ashing Boat 2) Spacer Quartz Striper